國內首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台揭牌 中央研究院發表量子晶片製程科學成果

（台灣TB新聞網/記者陳念祖）中央研究院10日為國內首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台舉行揭牌，並發表成功以8吋晶圓機台，製作高品質超導量子位元成果。 　

中央研究院院長廖俊智宣佈表示，發展量子科學必須同時投入高階製程研發人力，及尖端硬體設施，中研院所設置的兩項重要量子設施，將開放全國學研界合作使用。 　

中研院希望藉由資源整合與平台共享的效益，推動我國量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究。」

中研院關鍵議題研究中心之量子電腦專題中心執行長陳啟東特聘研究員指出，隨量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格。 　

我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡　是量子電腦面臨的關鍵挑戰。 　

中研院團隊除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。 　

此次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平台，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。 　

「量子晶片製程研發平台」(QC-Fab, Quantum Chip Fabrication Space)，為國內首座，專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。 　

團隊也持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標。「量子計算測試平台」(QC-Test, Quantum Computing Test Space)則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。 　

關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。

未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。

圖 /中央研究院院長廖俊智（前右三）量子電腦研究團隊合影。（圖/中央研究院　提供）

圖 /研究人員安裝微波控制線至稀釋製冷機，產生低溫穩定的製造環境。（圖/中央研究院　提供）

圖 /超導量子晶片製程設備樣貌。（圖/中央研究院　提供）